《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用(第3版)》集作者崔錚多年來的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)與研究成果，并結(jié)合近年來國際 上的發(fā)展，綜合介紹了微納米加工技術(shù)的基礎(chǔ)，包括光學(xué)曝光技術(shù)、電子束曝光技術(shù)、聚焦離子束加 工技術(shù)、掃描探針加工技術(shù)、微納米尺度的復(fù)制技術(shù)、各種沉積法與刻蝕法圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)、間接納米加工技術(shù)與自組裝納米加工技術(shù)。對各種加工技術(shù)的介紹著重講清原理，列舉基本的丁藝步驟，說明各種工藝 條件的由來，并注意給出典型的工藝參數(shù)；充分分析了各種技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)及在應(yīng)用過程中的注意事項(xiàng)；以大量圖表與實(shí)例說明各種加工方法，避免煩瑣的數(shù)學(xué)分析；并以專門一章介紹了微納米加工技術(shù)在現(xiàn)代高 新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用，演示了如何靈活應(yīng)用微納米加工 技術(shù)來推動(dòng)這些領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。
與國內(nèi)外同類出版物相比，《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用(第3版)》的顯著特點(diǎn)是將用于超大規(guī)模集成 電路生產(chǎn)、微機(jī)電系統(tǒng)制造與納米技術(shù)研究的微納米加工技術(shù)進(jìn)行綜合介紹，并加以比較；首次將微納米加工歸納為平面工藝、探針工藝和模型工藝3種主要類型，突出了微納米加工與傳統(tǒng)加工技術(shù)的不同之處。
全書既注重基礎(chǔ)知識又兼顧微納米加工領(lǐng)域近年來的 進(jìn)展，并列舉了大量參考文獻(xiàn)與互聯(lián)網(wǎng)鏈接網(wǎng)址，供讀者進(jìn)一步發(fā)掘詳細(xì)信息與深入研究，因此不論是對初次涉足這一領(lǐng)域的大專院校的本科生或研究生，還是對已經(jīng)有一定工作經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)科技人員，都具有很好的參考價(jià)值。
崔錚編寫的《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用(第3版)》是一本介紹微納米加工技術(shù)基礎(chǔ)與國外發(fā)展的讀物。全書共分11章，內(nèi)容包括：光學(xué)曝光技術(shù)，電子束曝光技術(shù)，聚焦離子束加工技術(shù)，掃描探針加工技術(shù)，復(fù)制技術(shù)，沉積法圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，刻蝕法圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，間接納米加工技術(shù)，自組裝納米加工技術(shù)，微納米加工技術(shù)的應(yīng)用等。
東南大學(xué)(原南京工學(xué)院)本科畢業(yè)(1981)，并獲該校碩士(1984)和博士(1988)學(xué)位。11989年受英國國家科學(xué)與工程研究委員會(huì)訪問研究基金資助(SERCVisitingFellowship)，到英國劍橋大學(xué)微電子研究中心做博士后研究。1993年到英國盧瑟福國家實(shí)驗(yàn)室微結(jié)構(gòu)中心做高級研究員，1999年以來任微納米技術(shù)首席科學(xué)家(PrincipalScientist)，曾任微系統(tǒng)技術(shù)中心負(fù)責(zé)人，現(xiàn)負(fù)責(zé)微納米技術(shù)的工程應(yīng)用(GroupLeader)。十多年來先后參加了8項(xiàng)歐洲共同體聯(lián)合研究項(xiàng)目，并擔(dān)任其中兩個(gè)項(xiàng)目的主持人。任歐洲微機(jī)電/微光機(jī)電設(shè)計(jì)、測試、集成與封裝年會(huì)的程序委員會(huì)委員，國際微納光刻、微機(jī)電與微光機(jī)電系統(tǒng)雜志(Journalof Micro/Nanolithography，MEMS andMOEMS)編委，歐洲第七框架研究計(jì)劃納米技術(shù)分計(jì)劃的評審專家，英國國家科研項(xiàng)目評審專家，并應(yīng)邀為多種學(xué)術(shù)雜志評審論文；英國物理學(xué)會(huì)會(huì)員，英國工程技術(shù)學(xué)會(huì)(IET)博學(xué)會(huì)員(Fellow)。1994年以來開始與國內(nèi)開展合作，先后受聘為國內(nèi)多家科研單位與大學(xué)的客座研究員、客座教授。先后4次受王寬誠科研獎(jiǎng)金資助回國進(jìn)行合作研究與講學(xué)。2001年以來，先后主持了兩項(xiàng)由英國皇家學(xué)會(huì)資助的中一英聯(lián)合研究項(xiàng)目。2002年受聘為中國科學(xué)院海外評審專家。2004年獲中國科學(xué)院海外杰出學(xué)者(B類)基金。2007年參加中國科學(xué)院物理研究所納米電子材料與器件海外合作團(tuán)隊(duì)。先后獨(dú)立與合作發(fā)表學(xué)術(shù)論文190余篇。2005年出版中文專著《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用》(高等教育出版社)，2006年出版該書的英文版《Micro-NanofabricationTechnologies andApplications》，2008年出版英文專著《Nanofabrication：Principles，Capabilitiesand Limits》(Springer)。
第1章 緒論
第2章 光學(xué)曝光技術(shù)
第3章 電子束曝光技術(shù)
第4章 聚焦離子束加工技術(shù)
第5章 掃描探針加工技術(shù)
第6章 復(fù)制技術(shù)
第7章 沉積法圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)
第8章 刻蝕法圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)
第9章 間接納米加工技術(shù)
第10章 自組裝納米加工技術(shù)
第11章 微納米加工技術(shù)的應(yīng)用
結(jié)束語
中英文索引
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這本書是為數(shù)不多的中文微納米系列參考書，很詳細(xì)，緊跟時(shí)代，建議購買。
