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及時(shí)章 真空鍍膜概述

1.1 固態(tài)薄膜簡(jiǎn)介

1.2 真空鍍膜簡(jiǎn)介

1.2.1 真空鍍膜物理過程

1.2.2 真空鍍膜的分類

1.2.3 真空鍍膜的特點(diǎn)

1.3 真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展

1.4 真空鍍膜系統(tǒng)

1.4.1 真空鍍膜系統(tǒng)的基本概念

1.4.2 真空泵

1.4.3 真空計(jì)

參考文獻(xiàn)

第二章 真空鍍膜成膜過程

2.1 薄膜生長簡(jiǎn)介

2.2 固體表面

2.3 薄膜生長過程

2.3.1 吸附

2.3.2 擴(kuò)散和脫附

2.3.3 成核

2.3.4 連續(xù)膜的形成

2.4 薄膜生長的三種模式

2.5 固態(tài)薄膜的結(jié)構(gòu)和缺陷

2.6 固體薄膜的性質(zhì)

2.7 固體薄膜應(yīng)力

2.8 薄膜與基體的附著力

2.9 基體

第三章 真空蒸發(fā)鍍膜

3.1 真空蒸發(fā)鍍膜原理

3.2 電阻蒸發(fā)源

3.2.1 電陽蒸發(fā)源的原理

3.2.2 電阻蒸發(fā)源的結(jié)構(gòu)

3.2.3 電阻加熱源的主要特點(diǎn)

3.2.4 電阻加熱真空蒸發(fā)鍍的應(yīng)用

3.3 電子束蒸發(fā)源

3.3.1 e型電子槍的原理和結(jié)構(gòu)

3.3.2 e型電子槍蒸發(fā)源的特點(diǎn)

3.3.3 e型電子槍真空蒸發(fā)鍍的應(yīng)用

3.4 感應(yīng)加熱蒸發(fā)源

3.4.1 感應(yīng)加熱蒸發(fā)源的原理

3.4.2 感應(yīng)加熱蒸發(fā)源的特點(diǎn)

3.5 脈沖激光沉積(PLD)

3.5.1 PLD系統(tǒng)

3.5.2 PLD工作原理

3.5.3 PLD技術(shù)特點(diǎn)

3.5.4 PLD應(yīng)用和發(fā)展

3.6 分子束外延

3.6.1 分子柬外延原理

3.6.2 分子束外延裝置

3.6.3 分子束外延特點(diǎn)

3.6.4 分子束外延技術(shù)應(yīng)用及進(jìn)展

3.7 真空蒸發(fā)鍍膜中的重要參數(shù)

3.8 蒸發(fā)鍍中基體上沉積的膜的厚度均勻性

3.8.1 單室蒸發(fā)鍍薄膜均勻性計(jì)算

3.8.2 蒸發(fā)源與基片的相對(duì)位置對(duì)薄膜均勻性的影響

參考文獻(xiàn)

第四章 真空濺射鍍膜

4.1 直流二極輝光放電

4.2 等離子體

4.3 濺射原理

4.4 直流濺射鍍膜

4.4.1 直流二極濺射鍍膜

4.4.2 直流二極偏壓濺射鍍膜

4.4.3 直流多極濺射鍍膜

4.5 直流磁控濺射鍍膜

4.5.1 磁控濺射鍍膜原理及特點(diǎn)

4.5.2 柱狀靶

4.5.3 平面靶

4.5.4 S槍

4.5.5 磁控濺射鍍膜一般特征

4.5.6 直流反應(yīng)磁控濺射鍍膜

4.6 射頻濺射鍍膜

4.6.1 射頻輝光放電

4.6.2 射頻濺射鍍膜

4.7 中頻磁控濺射鍍膜

4.8 脈沖直流輝光放電鍍膜

4.9 非平衡磁控濺射鍍膜

4.10 真空蒸發(fā)和濺射鍍膜參數(shù)與薄膜形貌關(guān)系

參考文獻(xiàn)

第五章 真空離子

5.1 等離子體離子鍍概述

5.1.1 等離子體離子鍍?cè)?/p>

5.1.2 等離子體離子鍍特點(diǎn)

5.1.3 等離子體離子鍍分類

5.2 等離子體蒸發(fā)離子

5.2.1 e型電子槍蒸發(fā)離子

5.2.2 空心陰極放電離子

5.2.3 等離子體激活蒸發(fā)離子

5.2.4 等離子體激活高速離子

5.3 等離子體磁控濺射離子

5.3.1 磁控濺射離子

5.3.2 離化的磁控濺射離子

5.3.3 高能脈沖磁控濺射離子

5.3.4 自濺射

5.3.5 空心陰極輔助的高密度濺射離子

5.4 電弧離子

5.4.1 陰極電弧離子

5.4.2 脈沖偏壓電弧離子

5.4.3 陽極電弧離子

5.5 束流離子

5.5.1 離子束沉積

5.5.2 團(tuán)簇離子束沉積

5.5.3 離子束輔助沉積

參考文獻(xiàn)

第六章 化學(xué)氣相沉積

6.1 概述

6.2 化學(xué)氣相沉積的動(dòng)態(tài)過程

6.3 幾種常見的化學(xué)氣相沉積

6.3.1 熱化學(xué)氣相沉積

6.3.2 低壓化學(xué)氣相沉積

6.3.3 等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積

6.3.4 原子層沉積

6.3.5 其他化學(xué)氣相沉積簡(jiǎn)介

參考文獻(xiàn)