形狀記憶合金(SMAs,ShapeMemoryAlloys)是一種在經(jīng)過嚴(yán)重變形后能夠通過加熱恢復(fù)原來形狀的材料。這種材料具有很多優(yōu)良的特性，如具有高力體積比，這使它在受熱或冷卻時能夠產(chǎn)生很大的應(yīng)變力，另外它還具有超彈力、高阻尼、良好的耐化學(xué)腐蝕性和生物兼容性等性能。SMAs的這些獨(dú)特的性能引起了人們對它作為智能和功能材料應(yīng)用潛能的極大關(guān)注。最近，SMAs薄膜已被認(rèn)為是微機(jī)電機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)和生物器件的一種新型的具有發(fā)展?jié)摿Φ母咝阅懿牧稀?/p>
在各種SMAS薄膜中，TiNi薄膜是發(fā)展?jié)撃艿囊环N。《形狀記憶合金薄膜:基礎(chǔ)與器件應(yīng)用(英文)》介紹了TiNi形狀記憶合金薄膜的性能、制備及特征，重點(diǎn)關(guān)注的發(fā)展及其在MEMS和生物器件中的應(yīng)用。《形狀記憶合金薄膜:基礎(chǔ)與器件應(yīng)用(英文)》既涵蓋了該學(xué)科的基本技術(shù)和理論，適合于初學(xué)者閱讀；同時又介紹如薄膜沉積、后處理、薄膜的實際應(yīng)用等知識，因此它又適合于有一定基礎(chǔ)的學(xué)者閱讀。
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各章摘要
1 濺射沉積TiNi基薄膜的綜述
摘要
1.1 引
1.2 制備和表征手段
1.2.1 薄膜沉積
1.2.2 TiNi薄膜的表征
1.2.3 TiNiX三元合金薄膜
1.2.4 殘余應(yīng)力與應(yīng)力演化
1.2.5 響應(yīng)頻率
1.2.6 附著與界面分析
1.2.7 穩(wěn)定性、衰減及疲勞特性
1.2.8 膜厚的影響
1.2.9 溫度記憶效應(yīng)
1.2.10 納米尺度上力學(xué)性能評價
1.2.11 功能梯度薄膜和復(fù)合TiNi基薄膜
1.3 TiNi薄膜在微機(jī)電系統(tǒng)中的應(yīng)用
1.3.1 各種微驅(qū)動機(jī)制的比較
1.3.2 TiNi薄膜微驅(qū)動器的建模和優(yōu)化設(shè)計
1.3.3 基于雙程形狀記憶效應(yīng)的獨(dú)立式微驅(qū)動器
1.3.4 TiNi隔膜、微泵與微
1.3.5 微夾鉗
1.3.6 微型傳感器、微型開關(guān)和微型繼電器
1.3.7 其他應(yīng)用
1.4 小結(jié)
參考文獻(xiàn)
2 TiNi合金中的馬氏體相變
摘要
2.1 引
2.2 TiNi相圖
2.3 馬氏體相變晶體學(xué)
2.4 相變應(yīng)變
2.5 相變溫度
2.6 基于馬氏體相變的形狀記憶效應(yīng)和超彈性
2.7 變形行為
2.8 小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3 TiNi薄膜的沉積技術(shù)
摘要
3.1 TiNi薄膜的制備簡介
3.2 濺射沉積
3.3 濺射工藝
3.4 利用電阻率和應(yīng)力-應(yīng)變測量對薄膜特性的表征
3.5 薄膜的連接方法
3.5.1 電阻焊接
3.5.2 激光焊接
3.5.3 超聲焊接
3.6 TiNi薄膜和微機(jī)電系統(tǒng)工藝
3.6.1 熱處理
3.6.2 TiNi薄膜的圖案化
3.6.3 犧牲層
3.7 微型驅(qū)動器的制造
3.7.1 提升閥驅(qū)動器
3.7.2 彎曲梁驅(qū)動器
3.8 血管內(nèi)醫(yī)療器械的制造
3.8.1 三維基體上的平面濺射
3.8.2多層法濺射
3.9 TiNi薄膜的相關(guān)文獻(xiàn)
3.10 小結(jié)
致謝
參考文獻(xiàn)
4 TiNi多層薄膜
摘要
4.1 引
4.2 多層TiNi薄膜的制備
……
5 晶化與微觀組織演化
6 TiNi薄膜的力學(xué)性能
7 應(yīng)力和表面形貌演化
8 離子注入處理及其相關(guān)輻照效應(yīng)
9 激光后退火工藝及理論
10 形狀記憶合金薄膜應(yīng)用概述
11 微驅(qū)動器和微泵用形狀記憶合金薄膜的理論研究
12 二元與三元薄膜隔膜微驅(qū)動器
13 TiNi薄膜器件
14 形狀記憶微
15 超彈性薄膜及其在醫(yī)療器械中的應(yīng)用
16 濺射沉積TiNi超彈性微管的制備和表征
17 形狀記憶薄膜微籠及其生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用
18 形狀記憶薄膜復(fù)合微驅(qū)動器
19 TiNi薄膜形狀記憶合金在光傳感方面的應(yīng)用
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